高純氣體對于不同類別的氣體，純度指標不同，例如對于氮，氫，氬，氦而言，通常指純度等于或高于99.999%的為高純氣體；而對于氧氣，純度為99.99%即可稱高純氧；對于碳氫化合物，純度為99.99%的即可認為是高純氣體。高純氣體應用領域極寬，在半導體工業，高純氮、氫、氬、氦可作為運載氣和保護氣；高純氣體可作為配制混合氣的底氣。

無機高純氣體：

1、空氣（Air）、氫氣（H2）、氧氣（O2）、氮氣（N2）、氬氣（Ar）、氦氣（He）、氖氣（Ne）、氪氣（Kr）、氙氣（Xe）等；

2、氨氣（NH3）、氯氣（Cl2）、二氧化硫（SO2）、一氧化碳（CO）、二氧化碳（CO2）、二氧化氮（NO2）、氧化亞氮（N2O）、氧硫化碳（COS）、氯化氫（HCl）、溴化氫（HBr）、硫化氫（H2S）等；

3、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）、四氟化碳（CF4）、四氟化硅（SiF4）、　 四氯化硅（SiCl4）、六氟化硫（SF6）等

常見高純氣體的用途：

環氧乙烷可用作生產增塑劑、潤滑劑等；

氯甲烷是重要的甲基化劑，還可作致冷劑、發泡劑等；

氯乙烷可用作煙霧劑、冷凍劑、汽油抗震劑、局部麻醉劑；

二甲醚可作噴氣推進劑、制冷劑、麻醉劑；甲硫醇用于合成染料、醫藥、農藥；

乙炔可直接用于金屬切割焊接、原子吸收；乙烯基乙炔主要作為氯丁橡膠原料等